Добровольный стандарт CGA G-16-2018 помогает использовать токсичный газ арсин

Газ арсин, также известный как мышьяковистый водород (АsH3), бесцветен и обладает чесночным запахом. Несмотря на то, что при краткосрочном воздействии на организм человека он обычно не раздражает дыхательные пути, арсин является легковоспламеняющимся и высокотоксичным газом.  

Арсиновая интоксикация, для проявления каких-либо симптомов которой может потребоваться до двух дней, сопровождается головной болью, тошнотой, бронзированием кожи, желтухой, одышкой и рядом других признаков. Причем наиболее тяжелым из симптомов является массовое разрушение красных кровяных клеток, что приводит к острой почечной недостаточности.

Тем не менее, арсин можно безопасно использовать и транспортировать, применяя для этого правильно спроектированное оборудование и обученных сотрудников. Организовать безопасную работу с токсичным газом с учетом этих и других требований позволяет обновленный стандарт от Ассоциации по сжатым газам (Compressed Gas Association; CGA), который называется CGA G-16-2018 "Арсин – 2е издание".

Задача организации безопасного обращения с арсином, который образуется при контакте мышьяка с кислотой, важна ввиду высокой значимости этого газа для предприятий полупроводниковой индустрии и предприятий, занимающихся очисткой металлов.

В частности, арсин используется в качестве легирующей примеси в процессе изготовлении твердотельных электронных устройств на основе кремния, в ходе которого его с помощью термодиффузии внедряют в слой кремния, используя при этом печи или системы имплантации ионным пучком. Арсин также находит применение при изготовлении сложных полупроводников, таких как светоизлучающие диоды (светодиоды), вступая в реакции с органическим металлом.

Для упрощения промышленного использования газа арсин он поставляется в виде сжиженного сжатого газа под давлением паров 1,515 МПа, (15,4 килограмма на квадратный сантиметр). Он также поставляется в газообразном состоянии, разбавленный другими газами под давлением.

Авторы стандарта CGA G-16-2018 отмечают, что весь персонал, работающий с рассматриваемым газом, должен, как минимум, проходить обучение с применением паспортов безопасности продукта и других справочных материалов. При этом в стандарте содержатся рекомендации, которые могут оказаться еще более полезными. 

Стандарт CGA G-16-2018 обеспечивает понимание потенциальных опасностей, касающихся взаимодействия с арсином, и оговаривает советы, которые могут свести к минимуму потенциальные риски, связанные с высокой токсичностью и воспламеняемостью арсина – то есть с его особенностями, которые способны привести к травмам, смерти и / или повреждению имущества.

Стандарт CGA G-16-2018 предлагает руководство по проектированию оборудования (включая выбор цилиндров и клапанов для хранения сжатого газа), управлению рисками и обеспечению гарантий, связанных с противопожарной защитой, обнаружением газа и вентиляцией. В нем также содержатся общие руководящие указания для производства, очистки и анализа арсина.

Обновленный документ CGA G-16 представляет собой пересмотренную версию первого издания того же стандарта, которая была опубликована в 2010 году. Перечень ключевых изменений, внесенных в текст CGA G-16-2018, включает разъяснение терминологии, изменение описаний воздействия арсина на здоровье, существенные изменения в информации о контроле температуры при использовании арсина и новые определения, касающиеся летальной концентрации газа и нижнего предел воспламеняемости.